شركت فني مهندسي يارنيكان صالح

با توکل بر خداوند متعال و در سایه عنایات حضرت ولی عصر(عج الله تعالی فرجه) هسته اولیه شرکت تعاونی فرااستانی یارنیکان صالح با حضور جمعی از استادان، صنعتگران، فارغ التحصیلان و دانشجویان در سال 1382 شکل گرفت؛ با این امید که با نام حضرت حق و با یاد او در راه او قدم بردارد. در ادامه یارنیکان صالح - همان گونه که در شروع نیت کرده بود - با هدف توانمند نمودن کشور در عرصه صنعت و کاستن از میزان وابستگی آن تلاش می کند  ادامه مطلب


نام‌كاربري:
رمزعبور:


صفحه اصلي » محصولات » تجهیزات ساخت ادوات نانومتری » سیستم زدایش خشک RIE

سامانة سونش بازفعال يونی:

 

 

يکی از روش­ های زدايش خشک که به طور گسترده­ ای در تکنولوژی ساخت قطعات نيمه­ هادی و ابررسانا به کار می رود، روش Reactive ion etching) RIE) است. اين روش ترکيبی از زدايش فيزيکی و شيميايی است، که از محاسن اين روش می ­توان به موارد زیر اشاره کرد:

  • ناهمسانگرد و  انتخابی بودن زدايش نسبت به روش ­های شيميايی (wet etching)
  • و بالاتر بودن سرعت زدايش نسبت به روش Plasma Etching

مدل R320

 در اين روش توسط يک ژنراتور فرکانس بالا با فرکانس   13.56 MHz ، از يک گاز فعال پلاسما ايجاد کرده و سطحي را که مي خواهيم روي آن عمل سونش انجام دهيم را روي کاتد قرار مي دهيم. بنابراين ذرات باردار مثبت موجود در پلاسما ، تحت اثر ميدان، با سرعت به سطح خورده و باعث کنده شدن لايه نشانده شده روي سطح مي شوند(سونش فيزيکي).

   (در شکل 1 روش wet etching با RIE مقايسه­ شده است)

از طرف ديگر چون پلاسما از يک گاز فعال تشکيل شده است، پلاسما با لايه نشانده شده روي سطح واکنش شيميايي نيز انجام داده و از اين طريق باعث حذف اين لايه مي شود(سونش شيميايي).

 

 

 

مشخصات فنی دستگاه:

 

حجم محفظه 

5.5 lit

سرعت تخلية محفظه 

 120 lit/s

فشار پايه

10-5Torr

ماکزيمم توان RF

200W

اندازة نمونه

تا "3.5

نرخ Etch

بسته به نوع ماده و گاز ، متغير و قابل تنظيم

گازهای مورد استفاده

ترکيبات فلوئوردار و کلردار

سيستم پمپينگ

ديفيوژن به همراه روتاری روغنی دو مرحله­ ای

ويژگي های دستگاه:

  • قابليت تنظيم دقيق فلوی گاز توسط شيرهای سوزنی
  • دارای شيرهای باز و بستة نيوماتيک
  • دارای فيلترهای مناسب برای روغن و گازهای سمّی
  • امکان دسترسی آسان به داخل محفظه
  • کاربری آسان دستگاه
  • دارای سيستم matching خودکار
  • استفاده از شيلدينگ مناسب در برابر تابش ­های RF
  • دارای سنسور جريان آب و  فلوکنترلر مناسب برای تنظيم نرخ آب خنک کنندة پمپ و الکترود

 

 

تجهيزات جانبی:

 

قطعه

تعداد/مقدار

قطعه

تعداد/مقدار

Claw Clamp

2 جفت

O-ring NBR NW100

2

Hinged Clamp NW 10

2

Al Centering NW10

2

Hinged Clamp NW 25

2

Al Centering NW 25

2

Hinged Clamp NW 40

1

SS Centering NW 100

2

O-ring NBR NW10

2

رابط شلنگ PC10

2

O-ring NBR NW25

2

تبديل شلنگ 8-6

2

O-ring NBR NW40

2

شلنگ اتصال آب

2 متر

چشمی محفظه

1

روغن سيليکوني DC 704

100cc

 

 

 

 


© Yar Nikan Saleh ::