تجهیزات

پوشش دهی در خلا یکی از روش های پرکاربرد در حوزه عملیات سطحی می باشد که در آن سطح قطعات با لایه نازکی از موارد پوشش داده می شوند. لایه های نازک به دلیل ضخامت کم و نانومتری خواص ویژه ای به قطعات می دهند و می توان خصوصیات الکتریکی، مکانیکی و اپتیکی آن ها را به نحو دلخواه تغییر داد. سیستم های پوشش دهی در خلا به عنوان یکی از تجهیزات اصلی مورد استفاده در دانشگاه ها و مراکز تحقیقاتی که در بخش های مختلفی از جمله میکروالکترونیک، میکروماشین، عملیات سطحی و ابررسانایی فعالیت دارند به شمار می رود.شرکت یارنیکان صالح تجهیزات و سیستم های پوشش دهی در خلا آزمایشگاهی را با روش های تبخیر مقاومتی، تبخیر با اشعه الکترونی، مگنترون اسپاترینگ ا جریان مستقیم و مگنترون اسپاترینگ با فرکانس رادیویی را در سه گروه امگا، سیگما و اپسیلون تولید می نماید.

فشارسنج پیرانی

فشارسنج پیرانی  103 همراه نمایشگر از مهمترین و پرکاربرد ترین فشارسنج های خلأ هستند که براساس قانون هدایتی گازها کار می­کنند.  رشته گرم آن در تبادل حرارتی با محيط ‏تحت اندازه گيری قرار دارد. اين فشارسنج برای اندازه گيری در گستره فشاری torr 100 تا ‏ 10-3 ‏بکار می­رود. البته این فشارسنج ها تنها در بازه خاصی دقت دارند.

فشارسنج کاتد سرد

اين فشارسنج بر مبناي اندازه­ گيری جريان ناشي از يونيزاسيون گازِ داخل محفظه کار مي­کند. اين جريان خود تابع چگالي يون­ها و در نتيجه فشار گاز مي­باشد. دستگاه از دو الکترود (آند و کاتد) تشکيل شده که براي انجام عمل يونيزاسيون، لازم است که بين دو الکترود اختلاف پتانسيل بالايي برقرار شود.

Diffusion pump

پمپ های دیفیوژن

پمپ دیفیوژن دسته ای از پمپ های خلأ می باشند که در صنایع مختلف مورد استفاده قرار می گیرد. ویژگی این پمپ ها قیمت پایین، عملکرد ساده و طول عمر بالا نسبت به سایر پمپ های خلأ بالا می باشد و از همین جهت مورد توجه قرار گرفته اند. شرکت یارنیکان صالح در حال حاضر پنج مدل از پمپ­های دیفیوژن با ظرفیت های متفاوت را ساخته و در اختیار متقاضیان قرار می دهد.

(Mass Flow Controller) MFC

تنظیم گر دبی جرمی

تنظيم­ گر دبی جرمی (MFC) ابزاری برای اندازه­ گيری و تنظيم دبی جرمی گاز با دقت بالا است.تنظيم­ گر، مقدار مطلوب دبی جرمی را از كاربر دريافت و دبی جرمی عبوری را بر روی مقدار مطلوب توسط شير کنترلی تنظيم می کند.برای اين منظور اين سامانه از دو بخش اندازه ­گيری دبی و تنظيم دبی تشکيل شده است. تنظيم­ گر دبی جرمی در فرآيندهای مختلف مورد استفاده قرار می گیرند.