Mass Flow Controller) MFC

تنظیم گر دبی جرمی

تنظيم­ گر دبی جرمی (MFC) ابزاری برای اندازه­ گيری و تنظيم دبی جرمی گاز با دقت بالا است. تنظيم­ گر، مقدار مطلوب دبی جرمي را از كاربر دريافت و دبی جرمي عبوري را بر روي مقدار مطلوب توسط شير کنترلی تنظيم مي­ کند. برای اين منظور اين سامانه از دو بخش اندازه ­گيری دبی و تنظيم دبی تشکيل شده است. تنظيم­ گر دبی جرمی در فرآيندهای  مختلف مورد استفاده قرار می گیرند.