یکی از کاربردهای مهم و رو به رشد سامانه های خلاء، پوشش دهی و الیه نشانی میباشد. لایه های نازک به دلیل ضخامت کم (در حدود آنگستروم) خواص فوق العادهای به قطعات می دهند. با لایه نشانی روی یک جسم می توان خصوصیات الکتریکی، فیزیکی، اپتیکی، سختی، رنگ و… را به نحوه دلخواه تغییر داد. دو دسته بزرگ و اصلی الیه نشانی، PVD: لایه نشانی بخار فیزیکی و CVD: لایه نشانی بخار شیمیایی می باشند.
با اشعه الکترونی و قوس کاتدی می باشد. در حال حاضر بخش های لایه نشانی شرکت عبارتند از:
این شرکت محصولات خود را با امکانات ویژه و به صورت منحصر بفرد طراحی و اجرا نموده و تا کنون با بسیاری از دانشگاه ها و مراکز تحقیقاتی و همچنین صنایع بزرگ کشور همکاری داشته است و دستگاه ارائه نموده است آزمایشگاه های تحقیقاتی در حوزه برق، مواد، شیمی، مکانیک، نفت و … از جمله مشتریان این شرکت در بخش آزمایشگاهی بوده اند. شرکت های تولید کننده کاشی و سرامیک، شیرآلات بهداشتی، ظروف آشپزخانه، لوازم ساختمانی خریداران دستگاه های صنعتی ساخت این شرکت می باشند.
کندوپاش معادل فارسی کلمه sputtering می باشد. این فرایند یکی از روشهای لایه نشانی فیزیکیِ حالت بخار می باشد در این روش یونهایِ با شتاب بالا، پس از برخورد به مادۀ تارگت، با انتقال انرژی خود باعث جدا شدن ماده تارگت و پخش شدن آن در فضا میشوند. تارگت یا مادهای که قرار است به عنوان مادۀ منبع، برای الیهنشانی استفاده شود؛ داخل محفظه خأل نصب میگردد و اختالف پتانسیل (DC ، RF یا AC) مورد نظر بین دو قسمت تارگت و آند برقرار می گردد. هنگام ورود گاز (مانند آرگون و کریپتون)داخل محفظه خلا، میدان الکتریکیِ ایجاد شده توسط ولتاژِ اعمالی، باعث تشکیل پلاسما می گردد. وجود میدان مغناطیسی در اطراف تارگت باعث افزایش چگالی پلاسما در بالای تارگت و در نتیجه کندوپاش بیشتر اتمهای تارگت میشود. یـکی از سامانه های پرکاربرد در زمینه لایـه نشانیِ لایه های نازک، کنـدوپاش (Sputtering) می باشد. کندوپاش DC و RF برای لایه نشانی بسیاری از مواد رسانا و نارسانا استفاده می شود
در این روش به کمک اعمال جریان بالا به سیم یا بوته تنگستنی (مولیبدنی، تانتالیومی یا …) در شرایط خلاء، فلزات به نقطه بخار میرسند و بخار فلزات روی قطعه مورد نظر الیه نشانی میگردد. توسط این روش با هزینه نسبتاً پایین می توان با تبخیر فلزاتی مانند آلومینیوم و مس و … به پوشش مورد نظر دست یافت. سامانه های تبخیر حرارتی با دارا بودن یک یا چند منبع تبخیر حرارتی مقاومتی، امکان لایه نشانی طیف گسترده ای از مواد را فراهم آورده است. این تکنیک برای پوشش دهی انواع پلاستیک، ABS، شیشه و … استفاده می شود که در صنایع خودروسازی در قسمت تزئینات داخلی و خارجی خودرو، محصولات تزئینی داخل خانه مورد استفاده قرار می گیرد
در این روش یک باریکه الکترونی با توان باال در محیط خأل ایجاد مینمایند و با برخورد با یک فلز یا عایق، موجب ذوب و سپس تبخیر آن میشوند. بدین ترتیب بخار ماده مورد نظر در فضا پخش شده و روی قطعه مورد نظر الیه نشانی میگردد. تبخیر با اشعه الکترونی یکی از روشهای لایه نشانی است که برای لایه نشانی مواد دیرگداز و سرامیک ها که فشار بخار پایینی دارند کاربرد دارد. این سامانه برای مصارف آزمایشگاهی و صنعتی استفاده می شود.
روش الیه نشانی قوس کاتدی یا آرک (deposition arc Cathodic یا PVD-Arc) یک روش لایه نشانی بخار فیزیکی می باشد که در آن یک قوس الکتریکی برای تبخیر ذرات از تارگت کاتدی، استفاده میشود. این ذرات تبخیر شده روی زیر لایه متراکم می شود و یک لایه نازک را تشکیل میدهد. برای لایه نشانی بسیاری از پوشش های فلزی، ترکیبی و سرامیکی که سختی بالایی دارند از روش قوس کاتدی استفاده می شود. الیه هایی که با این روش پوشش میدهند عبارتند از: تیتانیوم، نیترید تیتانیوم، اکسید تیتانیوم، نیترید کروم، نیترید زیرکونیوم و … . این روش به صورت گسترده در پروژه های تحقیقاتی و صنعتی کاربرد دارد.
روش قوس کاتدی یا آرک به دلیل مزایای زیادی که دارد در صنعت به طور گسترده ای مورد توجه واقع شده است. از جمله مزایای این روش لایه نشانی عبارتست از:
تهران، خیابان آزادی، خیابان حبیب زادگان، بنبست فاطمی، پلاک 1، طبقه 5، واحد 13
021-40660788-90
021-66068355
021-66068355
biz@ynsaleh.ir
