Mass Flow Controller) MFC
تنظیم گر دبی جرمی
تنظيمگر دبی جرمی (MFC) ابزاری برای اندازهگيری و تنظيم دبی جرمی گاز با دقت بالا است. تنظيمگر، مقدار مطلوب دبی جرمي را از كاربر دريافت و دبی جرمي عبوري را بر روي مقدار مطلوب توسط شير کنترلی تنظيم ميکند. برای اين منظور اين سامانه از دو بخش اندازهگيری دبی و تنظيم دبی تشکيل شده است. تنظيمگر دبی جرمی در فرآيندهای مختلف مورد استفاده قرار می گیرند.
