دستگاه های آزمایشگاهی

پوشش دهی در خلا یکی از روش های پرکاربرد در حوزه عملیات سطحی می باشد که در آن سطح قطعات با لایه نازکی از موارد پوشش داده می شوند. لایه های نازک به دلیل ضخامت کم و نانومتری خواص ویژه ای به قطعات می دهند و می توان خصوصیات الکتریکی، مکانیکی و اپتیکی آن ها را به نحو دلخواه تغییر داد. سیستم های پوشش دهی در خلا به عنوان یکی از تجهیزات اصلی مورد استفاده در دانشگاه ها و مراکز تحقیقاتی که در بخش های مختلفی از جمله میکروالکترونیک، میکروماشین، عملیات سطحی و ابررسانایی فعالیت دارند به شمار می رود.شرکت یارنیکان صالح تجهیزات و سیستم های پوشش دهی در خلا آزمایشگاهی را با روش های تبخیر مقاومتی، تبخیر با اشعه الکترونی، مگنترون اسپاترینگ با جریان مستقیم و مگنترون اسپاترینگ با فرکانس رادیویی را در سه گروه امگا، سیگما و اپسیلون تولید می نماید.

OMEGA

سامانه لایه نشانی کند و پاش/تبخیر حرارتی مقاومتی/تبخیر با اشعه الکترونی

سامانه های سری امگا در ده نوع طراحی و ساخته می شوند و بنا به سفارش، دارای یک یا سه روش لایه نشانی از جمله: کند و پاش DC، کند و پاش RF، تبخیر حرارتی مقاومتی و تبخیر با اشعه الکترونی می باشد.

SIGMA

سامانه لایه نشانی کند و پاش/تبخیر حرارتی

سامانه های لایه نشانی سری سیگما، قابلیت ایجاد پوشش های مختلف با روش کند و پاش یا تبخیر حرارتی را دارند. بخش تخلیه در این سامانه شامل پمپ روتاری و پمپ توربو مولکولی است که برای کاربردهای آزمایشگاهی و تحقیق و توسعه مناسب می باشد.

EPSILON

سامانه لایه نشانی رومیزی

این سامانه برای ایجاد لایه های نازک نانومتری با روش کند و پاش مگنترونی طراحی و ساخته شده است. منبع تغذیه این سامانه از نوع ولتاژبالای DC می باشد و امکان لایه نشانی برخی مواد فلزی نوبل مانند طلا، نقره و پلاتین را ایجاد می کند.