Epsilon

سامانه لایه نشانی رومیزی

این سامانه برای ایجاد لایه های نازک نانومتری با روش کند و پاش مگنترونی طراحی و ساخته شده است. منبع تغذیه این سامانه از نوع ولتاژبالای DC می باشد و امکان لایه نشانی برخی مواد فلزی نوبل مانند طلا، نقره و پلاتین را ایجاد می کند. سادگی عملکرد این سامانه، امکان کار با آن را برای بسیاری از کاربران فراهم آورده است. این سامانه علاوه بر کاربردهای آموزشی، به عنوان دستگاه مناسب آماده سازی نمونه های SEM محسوب می شود. این سامانه  در دو مدل Epsion و Epsilon+ طراحی شده است. مدل Epsilon+ علاوه بر قابلیت های سامانه Epsilon، امکان عملیات سطحی با استفاده از پلاسما (plasma trearment) را فراهم می نماید.