Sigma

سامانه لایه نشانی کند و پاش/ تبخیر حرارتی

سامانه های لایه نشانی سری سیگما، قابلیت ایجاد پوشش های مختلف با روش کند و پاش یا تبخیر حرارتی را دارند. بخش تخلیه در این سامانه شامل پمپ روتاری و پمپ توربو مولکولی است که برای کاربردهای آزمایشگاهی و تحقیق و توسعه مناسب می باشد. این سامانه دارای محفظه شیشه ای به همراه یک مسیر تخلیه است و به همین دلیل قیمت آن سامانه نسبت به سامانه های سری امگا پایین تر می باشد